Leichte Diffusionskassetten
Leichte Kassetten bestehen aus Dünndraht, der zu gewellten Mustern oder spiralfederartigen Mustern geformt ist. Unter „leicht“ versteht man bei der Konstruktion von Kassetten den Einsatz von Draht mit geringerem Durchmesser. Diese Konfiguration ist für eine präzise Steuerung und die Reaktionszeit des Diffusionsprozesses entscheidend.
Branchen
Information
Anwendungen
LPCVD- und Niedertemperatur-Einsatzgebiete: wenn präzises Steuern niedriger Temperaturen erforderlich ist. Einsatzgebiete wie LPCVD; Polysilizium, Nitrid und Niedertemperaturoxid. Atmosphärisch: H2-Glühen, Polyimidhärtung.
Einsatzgebiete mit schneller Temperaturreaktion: Ideal für Prozesse, die schnelle Temperaturänderungen erfordern.
Schnellkühlungsanwendungen: Effizient für Einsatzgebiete, für die schnelles Abkühlen erforderlich ist.
Ein typisches Heizelement mit geringer Masse besteht aus:
- halbschalenförmigen Keramikformen mit eingebettetem gewelltem Draht oder Drahtspiralen.
- Keramikform mit trockener Deckenfaser für gezielten Isolationswert und ausgewogene Kompression.
- verzierten, vakuumgeformten keramischen Zwischenraum-Endisolatoren.
- diversen Positionsklemmen für Thermoelemente.
- keramischen Bleischlössern an innen gebussten Elementen. Stromblöcken an extern gebussten Elementen.
Eigenschaften
- Leichter und mittlerer gewellter Draht oder mit Präzisionsmaschinen kalt gewickelter Federdraht.
- Typischerweise wellenförmige Biegemuster, 25 mm und 50 mm.
- Außengehäuse aus SST oder Aluminium.
- Design mit geringer Masse für niedrige Temperaturen und schnellere thermische Reaktion.
- Weiße oder schwarze Oberflächenbeschichtung.
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